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記者近日(ri)從中國科大了解(jie)到,該校微電子學(xue)院龍(long)世兵(bing)教授課題組基于低成本非晶氧化鎵材(cai)料(liao),通過缺陷和摻雜(za)工(gong)程(cheng)實現了極(ji)端(duan)環境下(xia)依然表現超高靈敏度的日(ri)盲探(tan)測(ce)器(qi)。該方(fang)法為高性(xing)能(neng)、耐極(ji)端(duan)環境日(ri)盲紫外探(tan)測(ce)器(qi)的研制及應用提供了一種可行的參考。相關成果日(ri)前在線(xian)發(fa)表在《先進材(cai)料(liao)》雜(za)志上。
氧(yang)化鎵(jia)作為新興的(de)超寬禁(jin)帶(dai)(dai)半導(dao)體材料,具有熱(re)穩定(ding)性(xing)好、禁(jin)帶(dai)(dai)寬度(du)大(da)(da)、紫外吸收系數大(da)(da)、材料易加工等(deng)優點,是日(ri)盲紫外探(tan)測較(jiao)為理想(xiang)的(de)候(hou)選材料。然而(er),基(ji)于非晶(jing)氧(yang)化鎵(jia)材料開發高環境耐受性(xing)的(de)高性(xing)能日(ri)盲紫外探(tan)測器還需解決其(qi)材料穩定(ding)性(xing)差、缺陷密度(du)高、漏電流大(da)(da)、持續光(guang)電導(dao)效應明顯等(deng)問(wen)題。
課(ke)題組通過一系列(lie)研(yan)究(jiu),成功設計出(chu)高性能且耐極端(duan)環境的(de)(de)(de)氧化(hua)鎵日(ri)盲紫外光電探(tan)測(ce)器(qi)。與常(chang)規非(fei)晶富(fu)鎵氧化(hua)鎵器(qi)件相比,工程(cheng)化(hua)處理的(de)(de)(de)器(qi)件暗電流降低107倍(bei)、探(tan)測(ce)率(lv)提(ti)(ti)(ti)升102倍(bei)、響應速度提(ti)(ti)(ti)升。同時,得(de)益(yi)于子帶(dai)隙吸收的(de)(de)(de)抑(yi)制(zhi),探(tan)測(ce)抑(yi)制(zhi)比提(ti)(ti)(ti)升了105倍(bei),顯示出(chu)器(qi)件優異的(de)(de)(de)光譜(pu)選(xuan)擇性。在高溫(wen)、高壓、高輻(fu)射等極端(duan)條件下,器(qi)件依然保持較(jiao)高的(de)(de)(de)探(tan)測(ce)性能,實現了高溫(wen)下的(de)(de)(de)清(qing)晰(xi)日(ri)盲成像驗證。
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