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近日，華中科技(ji)大學武漢光電國家(jia)研究中心(xin)團隊(dui)在國內(nei)率先攻克(ke)合成光刻(ke)膠(jiao)(jiao)所需的原(yuan)料和配方，助(zhu)推我國芯片制(zhi)造(zao)關鍵(jian)原(yuan)材(cai)料突破瓶頸。團隊(dui)研發的T150A光刻(ke)膠(jiao)(jiao)系列產(chan)品(pin)已通(tong)過半(ban)導體(ti)(ti)工(gong)藝量產(chan)驗證，實現了原(yuan)材(cai)料全(quan)部國產(chan)配方全(quan)自主設計(ji)，有望開創(chuang)國內(nei)半(ban)導體(ti)(ti)光刻(ke)制(zhi)造(zao)新局(ju)面。
光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)是一種(zhong)感光(guang)(guang)材料(liao)，用于芯(xin)片制(zhi)造(zao)(zao)的(de)光(guang)(guang)刻(ke)環節，工作原理類似于照(zhao)相機的(de)膠(jiao)卷曝光(guang)(guang)。芯(xin)片制(zhi)造(zao)(zao)時，會(hui)(hui)在晶圓上(shang)(shang)涂上(shang)(shang)光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)，在掩(yan)膜(mo)版上(shang)(shang)繪制(zhi)好電路(lu)圖。當光(guang)(guang)線透過掩(yan)膜(mo)版照(zhao)射到光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)上(shang)(shang)會(hui)(hui)發生(sheng)曝光(guang)(guang)，經過一系(xi)列(lie)處理后(hou)，晶圓上(shang)(shang)就會(hui)(hui)得(de)到所需的(de)電路(lu)圖。由于光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)是芯(xin)片制(zhi)造(zao)(zao)的(de)關鍵材料(liao)，國(guo)外企業對其原料(liao)和配方(fang)高度保密(mi)，目(mu)前我國(guo)所使用的(de)光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)九成以上(shang)(shang)依賴進(jin)口。
武漢光(guang)(guang)電(dian)國(guo)家研究中(zhong)心團隊(dui)研發的這款半(ban)導體專用(yong)光(guang)(guang)刻(ke)膠對標國(guo)際頭部(bu)企(qi)業主流KrF光(guang)(guang)刻(ke)膠系列。相較(jiao)于國(guo)外同系列某產品，T150A在光(guang)(guang)刻(ke)工(gong)藝中(zhong)表現(xian)(xian)出的極(ji)限分辨(bian)率達到120nm，且(qie)工(gong)藝寬容度(du)(du)更(geng)(geng)(geng)大、穩定性更(geng)(geng)(geng)高(gao)、留膜率更(geng)(geng)(geng)優，其對刻(ke)蝕(shi)工(gong)藝表現(xian)(xian)更(geng)(geng)(geng)好(hao)，通過(guo)驗(yan)證(zheng)發現(xian)(xian)T150A中(zhong)密集(ji)圖形經過(guo)刻(ke)蝕(shi)，下層介質的側壁垂(chui)直度(du)(du)表現(xian)(xian)優異。
團隊在電子化學(xue)品領域深耕二(er)十余載，立足于關鍵光刻(ke)膠底層技(ji)術研究，致(zhi)力于半(ban)導(dao)體(ti)專用高端電子化學(xue)品原材(cai)料和光刻(ke)膠的開(kai)發(fa)，并以新技(ji)術路線為半(ban)導(dao)體(ti)制造(zao)開(kai)辟新型(xing)先進(jin)光刻(ke)制造(zao)技(ji)術，同時為材(cai)料的分析與(yu)驗證提供全面的手段(duan)。
團隊負責人表(biao)示：“以光刻技(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)分(fen)子(zi)基礎研究和原材料的(de)(de)(de)開發(fa)為(wei)起點，最終獲得具(ju)有自(zi)主知識產權的(de)(de)(de)配方(fang)技(ji)術(shu)(shu)，這只(zhi)是個開始。我們團隊還會發(fa)展一系列應(ying)用于不同場景下(xia)的(de)(de)(de)KrF與ArF光刻膠，致力于突破國外卡脖子(zi)關鍵(jian)技(ji)術(shu)(shu)，為(wei)國內相關產業帶來更多驚喜。”
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